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Picosun

A Picosun é uma empresa exclusivamente de ALD. Utilizados para a geração de filmes ultra-finos e estruturas de filmes finos, estes equipamentos controlam o crescimento do filme em termos de espessura da monocamada ou sub-monocamada. A serie R é  otimizada para pesquisa, desenvolvimento e produção-piloto, permite deposição em wafers de 2-8” (50-200 mm) , em objetos tridimensionais e substratos porosos. Os materiais da câmara de reação são selecionados para suportar processos químicos corrosivos . As ferramentas de processo podem ser atualizadas. A serie P, patenteada, estabelece um novo padrão de produção de ALD. O projeto do reator é otimizado para o processamento eficiente de lotes por espaço 4-8″ ou 156×156 mm2 por wafers (até 100 ou 200 wafers por lote) para fabricação de produtos eletrônicos e aplicações solares, compatíveis com exigências de processamento de sala limpa.

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