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AnnealSys

Annealsys desenha e fabrica sistemas de processamento térmico de alta qualidade, para faixas de temperatura de  até 2000º C, com altas taxas de aquecimento de até 300ºC. Sistemas usados para Processamento Térmico Rápido e Recozimento (RTP/RTA), Deposição Química de Vapor em Baixa Pressão, Metais e Compostos Orgânicos (CVD/MOCVD/Spray CVD e LPCVD), Oxidação, Nitretação, Difusão Térmica, Ionização, Cristalização, Densificação e outros. Seus sistemas são utilizados nas mais variadas aplicações como avaliações de Filmes Finos, Materiais Opto-eletrônicos, Semicondutores, MEMS, Vidro, Poligéis Solares, Wafers de Silicio, NanoTubos de Carbono, Oxidos, Transições de Metais, Nanowires.

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